1.温度稳定性好。
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，由于加热极小，对稳定性影响不大。而且电阻传感器有铜损，容易发热产生零漂移。
2.结构简单。
电感传感器结构简单，易于制造和保证高精度，可以做得很小，以实现一些特殊的测量;能在高温、强辐射、强磁场等恶劣环境下工作，能承受较大的温度变化、高压、高冲击、过载等。;它可以测量超高温和低压差，也可以测量磁性工作。
3.良好的动态响应。
由于带电极板之间的静电引力很小(约10^(-5)N)，电感传感器所需的作用能量很小，而且由于其可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，可以在几兆赫兹的频率下工作，特别适合动态测量。由于介质损耗小，可以高频供电，系统工作频率高。可用于测量高速变化的参数。
4.非接触测量，灵敏度高。
不接触测量旋转轴的振动或偏心率、小滚珠轴承的径向间隙等。采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可降低工件表面粗糙度对测量的影响。
电容式传感器的优点是什么?除了上述优点外，电感传感器还可以测量极低的压力、力和小的加速度、位移等。，因为它们在带电极板之间的静电引力很小，所需的输入力和输入能量很小，可以敏感，分辨率高，可以感应0.01μm甚至更小的位移。由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并联成电桥时产生的零残极小，允许电路高倍放大，使仪器具有较高的灵敏度。
